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德國激光微加工系統廠商3D-Micromac推出新型microCETI巨量轉移平臺

每小時可轉移上億顆Micro LED芯片
來源:投影時代 更新日期:2021-05-26 作者:佚名

    德國激光微加工系統廠商3D-Micromac推出了新型microCETI™巨量轉移平臺,并宣稱每小時可轉移上億顆Micro LED芯片,而據外媒透露,具體轉移顆數可達1.3億顆以上。

    據介紹,microCETI轉移系統基于激光誘導的正向轉移(LIFT)工藝,系統包括可選模組(即激光剝離模組)及一個LED單晶修復模組,具備高精度、全自動校準、高產量、低成本等特點。microCETI擁有三種不同配置,使得轉移、剝離和Micro LED芯片修復制程皆實現高成本效益,且支持幾乎所有的Micro LED材料和形狀。

    除了Micro LED以外,microCETI系統還支持轉移MiniLED和常規LED芯片,適用于2-6英寸(200mm)的LED晶圓,目標基板尺寸為350×350 mm。值得注意的是,microCETI系統可為其他基板尺寸提供定制化解決方案。

    據了解,3D-Micromac主要為半導體、光伏、醫療設備和電子產品市場提供激光微加工及卷對卷激光系統,2016年在中國無錫建立了分公司,瞄準亞洲市場。

    據悉,目前3D-Micromac已經獲得北美和亞洲Micro LED芯片廠商的采購訂單,其microCETI系統將用于激光剝離和轉移處理工藝。

    關于激光誘導的正向轉移(LIFT)工藝,公開資料顯示,LIFT是一種激光微加工技術,具有適應性強、加工精度高、成本低廉、綠色環保、適用范圍廣等諸多優點,在集成電路加工與修復、微型光電子器件制備、微生物制作等領域具有良好的發展前景。

    LIFT工藝的基本過程是:高能量脈沖激光透過鍍有材料薄膜的基底,聚焦到基底與材料薄膜的交界面上使薄膜材料被加熱至熔融狀態,轉移沉積到與之平行放置的受體上,這種微加工技術能夠快速地在固體表面直接沉積特定的微圖形、微結構、微電子器件等。

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