8月15日,由深圳市壹倍科技有限公司(以下簡稱“壹倍科技”)自主研發與生產的Micro LED晶圓級AOI巨量檢測設備順利交付至Micro LED巨量轉移領域頭部客戶。至此,壹倍科技已完成該產品線的多批次成功交付,達成了該領域頭部客戶群的基本覆蓋。
本次發貨的用于Micro LED芯片的AOI量檢測設備,采用超寬場、高NA、顯微線掃光學成像系統與高通量圖像處理算法,結合系統誤差整合分析和校準技術、運動與圖像像質的自適應補償技術,可以對Micro LED工藝制程中的COW以及巨量轉移前后的COC的晶圓進行全面的精細檢查,同時具備亞微米級的全局位移量檢出能力,因此可以有效地對巨量檢測轉移工序良率進行監測和管控。基于近幾年在產線實踐過程中針對巨量芯粒檢測(單wafer超億顆芯片)的數據分析和處理經驗,壹倍科技掌握的Micro LED檢測技術可在數分鐘內檢測 Micro LED COW (chip on wafer)或COC (chip on carrier)晶圓上數千萬顆芯粒的缺陷檢測或位置量測,最小可檢出亞微米級的缺陷和偏移。
壹倍科技于2022年7月推出了國內首套Micro LED晶圓級PL巨量檢測設備,在2023年初通過頭部客戶的驗收,隨后獲得該客戶批量重復訂單。自2023年下半年,壹倍科技不斷獲得Micro LED行業領域頭部客戶群訂單,并迅速進入量產階段, 截至今日已完成多批次多臺套訂單的穩定持續的交付工作。
壹倍科技針對下游客戶在COC巨量轉移段的高通量的芯粒位置量測和缺陷檢測需求,結合了PL、AOI及其他自主開發光學檢測技術,已全面具備面向Micro LED行業晶圓級檢測場景提供全鏈條量產解決方案的能力。未來壹倍將持續攻堅晶圓級檢測核心技術,致力于為Micro LED顯示行業的規模化量產以及大幅降本貢獻重要力量!
近日,多家Micro LED設備廠商官宣交貨。例如,8月1日,海目星宣布首條Micro LED中試線于順利出貨,涵蓋Micro LED巨量轉移、Micro LED巨量焊接、Micro LED激光修復等設備,并已完成廠內FAT驗收。考拉悠然自主研發的國內首臺玻璃基Micro LED晶圓量檢測設備正式完成出貨,邁為股份最新一代Micro LED激光剝離設備(LLO)和Micro LED巨量轉移設備(LMT)成功完成樣品驗證并順利交付。