4月29日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司發(fā)布2025 年第一季度報告。在過去14年保持營業(yè)收入年均增長大于35%的基礎(chǔ)上，2025年第一季度營業(yè)收入繼續(xù)保持高速增長，同比增長35.40%，達(dá)到21.73億元。

    公司本期營業(yè)收入為21.73億元，同比增長35.40%。公司的等離子體刻蝕設(shè)備在國內(nèi)外持續(xù)獲得更多客戶的認(rèn)可，針對先進(jìn)邏輯和存儲器件制造中關(guān)鍵刻蝕工藝的高端產(chǎn)品新增付運量顯著提升，先進(jìn)邏輯器件中段關(guān)鍵刻蝕工藝和先進(jìn)存儲器件超高深寬比刻蝕工藝實現(xiàn)量產(chǎn)。公司為先進(jìn)存儲器件和邏輯器件開發(fā)的六種薄膜設(shè)備已經(jīng)順利進(jìn)入市場，設(shè)備性能達(dá)到國際領(lǐng)先水平，并同步推進(jìn)多款金屬薄膜氣相設(shè)備、新一代等離子體源的PECVD設(shè)備的開發(fā)，增加薄膜設(shè)備的覆蓋率。公司EPI設(shè)備已順利進(jìn)入客戶端量產(chǎn)驗證階段，已完成多家先進(jìn)邏輯器件與MTM器件客戶的工藝驗證，并且結(jié)果獲得客戶高度認(rèn)可。在泛半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，公司正在開發(fā)更多化合物半導(dǎo)體外延設(shè)備，陸續(xù)付運至客戶端開展生產(chǎn)驗證。

    公司本期歸屬于上市公司股東的凈利潤為3.13億元，較上年同期增加0.64億元，同比增長約25.67%，本期增加的主要原因：（1）由于本期營業(yè)收入增長35.40%，毛利較去年增加約2.20億元。（2）由于市場對中微開發(fā)多種新設(shè)備的需求急劇增長，公司持續(xù)加大研發(fā)力度，以盡快補齊國產(chǎn)高端半導(dǎo)體設(shè)備短板，實現(xiàn)趕超，為持續(xù)增長打好基礎(chǔ)。本期公司研發(fā)投入約6.87億元，較上年同期增加3.26億元，同比增長約90.53%。本期研發(fā)費用較上年同期增加2.50億元，同比增長約116.80%。（3）本期公司持有的以公允價值計量的股權(quán)投資本期盈利約0.04億元，與上年同期的虧損0.41億元相比，增加約0.45億元。（4）本期公司計入其他收益的政府補助較上年同期增加約0.43億元。

    本期歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益的凈利潤為2.98億元，較上年同期增加0.35億元，同比增長13.44%，主要系公司毛利增加2.20億元，本期研發(fā)費用增長2.50億元，以及研發(fā)加計扣除增長導(dǎo)致所得稅費用同比減少約0.22億元。